中芯因为被美国约束，这77亿人民币买的是DUV深紫外光源光刻机，其在献身必定功率和产品良率的基础上，最高能做7nm芯片。DUV光刻机大约5.8亿人民币一台，77亿人民币大约能够买13台DUV光刻机。这13台DUV光刻机折合产能大约是3.7万片12寸晶圆/月，以中芯2020年产能约18.5万12寸晶圆/月来说，这13台DUV能添加20%的产能了，不算少，但面临芯片工业现在的窘境，这个增量仍是不行的，为直观一点，咱们拿台积电比较一下：
以产量比照：2020年台积电产量约2924亿人民币，中芯产量约251亿人民币，按产量核算中芯大约是台积电规划的11.6倍
以产能比照：2020年台积电产能为113.2万12寸晶圆/月。中芯产能约18.5万12寸晶圆/月。台积电产能是中我国石油,我国石油,我国石油芯的6.11倍。
咱们有台积电的产能做个简略核算，看看台积电的设备总值有多少：按每台DUV光刻机月处理2850片12寸晶圆核算，可换算出台积电相当于有397台DUV光刻机，按当时DUV价格核算这批光刻机价值5.8*397=2302.6亿人民币。而光刻机占晶圆制作设备的份额大约23%，台积电多年累积下来的设备大约值10011.3亿元人民币。也就是说咱们要弄一个台积电产能，要出资1万亿人民币，这还不是悉数。
咱们看到的是冒出水面，净利润超越40%的台积电，在水面之下是有力支撑其构成巨大优势的巨大在地供应链，它们相互支撑，良性循环，许多配套厂有特别设备资料特供台积电，也有许多质高价廉的设备资料商代替了西方产品，协助台积电大起伏紧缩本钱，树立竞赛优势。相比之下，国内芯片制作厂的国产配套企业因为市占十分低，规划和实力都不大，两边的相互支撑力度不行。一起芯片设备资料触及的精细仪器繁复而杂乱，而国内的精细仪器设备制作堆集不行，开展比较费劲，这是个难题。这样看起来要撑起像台积电这样的摊子，需求十分大的出资及和必定的时刻堆集，难度不小，但以现在的状况，芯片工业是美国手中的一个开关，再难咱们仍是咬牙投入下去，做必定的国产化。
芯片国产化现在做得怎么样。在此引证宁南山的中期期货,中期期货,中期期货数据，2020年我国商场耗费芯片1434亿美元，其间60%芯片拼装制品后出口，40%内销。本乡芯片公司产量227亿美元。国产的商场空间不小。
ASML的光刻机不是买到了就无忧无虑。芯片厂是24小时出产，人停机不断，这种高强度运用下DUV光刻机的重要配件，深紫外光源会不会衰减然后需求定时替换，假如要替换，美国CYMER深紫外光源3000万人民币一个。24小时高强度运用下，物镜体系的透镜镀膜会不会损害或脱落，然后需求定时替换，这个是德国蔡司的产品，也不廉价。还有其他损耗件存在，这些都不是操之在我，稳妥起见，必需求开展国产光刻机。
国产光刻机现状：对应ASML的DUV光刻机的，是02专项中的193nm浸没式光刻机，由上海微电子担任拼装。02专项施行时刻是2016年---2020年。项目具体要求是：1）霸占14m刻蚀设备、薄膜设备、掺杂设备等高端制适配备及零部件；2）打破193nm浸没式光刻机及核心部件3）研制14m逻辑与存储芯片成套工艺及相应体系封测技能；整体要求构成14nm-28nm-配备、资料、工艺、封测等较完好的工业链。现在看来，除了193nm浸没式光刻机超时并还在收尾，其他都基本完成了。
02专项的193nm浸没式光刻机，研制难点在光源和物镜。以此对应的配套项目是担任物镜的北京国望光学和担任光源的科益虹源。这其间又以物镜最难，它不是制式产品，依靠经历打磨调试。而这正是德国日本的专长，现在最好的光刻机和单反相机用的都是德国日本镜片，打磨调试复试镜片需求多年技能经历堆集，我国要短时刻赶上，需求做很大的尽力。这次02专项193nm光源DUV光刻机物镜拖在最终。
EUV国产光刻机难点。做7nm以下芯片，需求用到EUV光刻机，国产EUV光刻机的难点估量仍是物镜最难：EUV所用的极紫外光能被空气、玻璃吸收，只能用反射镜代替透镜，并将工作环境抽成真空。而一般反射镜镜面反射率不行，有必要选用硅钼镀膜的复式镜面规划将多层反射会集成单一反射，整个物镜体系需求整合调试十几面反射镜，一起镜面精度要抵达皮米级(万亿分之一米)以上。每次光反射会丢失3成能量,这样在通过十几面反射镜后只要不到2%的光线能抵达晶圆。
要下降难度有几个方法：
一个是想方法进步光的反射率。1）规划更精妙的反射体系削减所需反射镜数量以此削减反射能量丢失。2）反射镜的精度在皮米级(万亿分之一米)基础上持续进步，这需求更高的磨镜片手工，难度太大。
另一个是从光源下手，假如物镜体系难以打破，能够加强光源来减轻物镜体系的触及难度和镜片的加工精度要求：1）进步光源功率2）替换更好的光源，比方清华大学唐传祥团队研讨的SSMB光源就有代替EUV光刻机的极紫外光源的潜力。
以上总总能够看出芯片工业开展的不易，以此来看中芯这13台DUV仍是远远不行的。最终祝愿我国的芯片制作业，愿其开展顺利。