在我国科学院“抢先行为”规划第一阶段实施希望宣告会上，中科院院长白春礼暗示：面临美国对我国高科技工业的镇压，咱们希望在这方面能做一些工作。咱们把美国“卡脖子”的清单变成咱们科研任务清单举办规划，比如航空轮胎、轴承钢、光刻机，还有一些症结的中心手工、症结原资料等，咱们抢夺将来在第二期，聚集在国度最重视的严峻的领域，调集咱们全院的力量来做。
刚正证券指出，光刻机作为前道工艺七大设备之首（光刻机、刻蚀机镀膜设备、量测设备、洗濯机、离子注入机、其他设备），价值含量极大，在制造设备投资额中单项占比高达23%，手工恳求极高，触及邃密精巧光学、邃密精巧活动、高精度环境把握等多项先进手工。现在光刻机国产替换将迎来新的曙光，尤其是IC前道制造领域，将初步打破国外巨擘完好独占的形势，实现从0到1的打破。重视举国之力助力国产替换的光刻工业链，一是光刻机中心组件；二是光刻配套设备：包括光刻胶，光刻气体，光掩模版，光刻机缺陷检测设备，涂胶显影设备等。
相干上市公司中，赛微电子：公司出产的MEMS可运用于光刻机透镜系统部件，产品服务于举世光刻机巨擘ASML。
晶方科技：ASML为公司介入并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。
奥普光电：长春光机所控股下的仅有上市渠道，90纳米光刻机暴光系统是长春光机所联合其他单位在国度专项资金的支持下打开的研制项目。
蓝英设备：公司控股子公司为荷兰光刻机制造商ASML供给邃密精巧洗濯解决方案。