ASML、中芯世界双双驳斥谣言，EUV光刻设备并没有断供

与非网11月8日讯，上一年4月，中芯世界向荷兰ASML公司订货了一台EUV光刻机，用于研讨7nm及以下的先进工艺。花费超越1.2亿欧元(约10亿人民币)，估计本年末交货，2020年正式装置。来自日经新闻音讯称，由于遭到美国政府关心，ASML将拖延对我国晶圆代工企业中芯世界出货。

音讯发酵后，中芯世界股价因而受挫，今天跌幅一度超越6%。

对此ASML与中芯世界均对此表明否定。

11月7日下午，ASML向媒体回应称，关于日经新闻报道的关于交货时程仅为其媒体估测，ASML从未谈论或承认，对其将估测直接定性为现实作为新闻标题并在文中论述，表明反对。

ASML相关负责人着重：“实际上在咱们第三季度财报中，就现已将相关状况进行阐明，依据瓦圣纳协议(WassenaarArrangement)，ASML出口EUV到我国需获得荷兰政府的出口答应(exportlicense)。该出口答应于本年到期，ASML现已于到期前从头进行请求，现在正在等候荷兰政府核准。因而，关于”ASML决议推迟/停止出货“的说法是过错的，ASML系遵从法规行事，并天公地道地服务咱们全球客户。”

关于何时能拿到答应证，ASML相关负责人表明，现在处于正常的流程状况中，没有把握切当的时刻。

中芯世界刚刚也进行回应：“极紫外光(EUV)还在纸面作业阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研制发展顺畅。现在，研制与出产的连接一切正常，客户与设备导入正常运作。”

ASML是全球EUV光刻机的仅有供货商，并且是全球市值最高的芯片设备制作商。ASML年收入约在83亿欧元(约92亿美元)左右。其间16%来自英特尔和美光等美国公司，19%来自我国。据了解，台积电、三星已于2019年导入量产最先端产品的EUV设备，且苹果估计2020年下半开卖的新式iPhone预估就会搭载选用该技能的CPU。

中芯世界是我国最大的半导体制作公司，本年14nm制程现已完结量产，追平台联电14nm制程工艺，假如未能按时拿到最先进光刻机设备，或影响赶超台积电的日程表。

现在台积电台积电将包办ASML本年的30台EUV光刻机中的18台，不过量产的7nm制程仍是根据DUV(深紫外)工艺，本年3月份才发动7nmEUV的量产。而三星在上一年就小规模投产了7nmEUV。

不过，业内人士泄漏，这批设备仍估计将在2019年末前出货，并且在2020年末前完结装机。