4月6日，微公司董事长、总经理尹志尧泄漏，公司研制的等离子刻蚀设备现已进入客户的5nm出产线。

尹志尧表明，公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制作出产线和先进封装出产线。

其间，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际闻名客户最先进的出产线上并用于5纳米、5纳米以下器材中若干关键步骤的加工。

此外，公司MOCVD设备在职业抢先客户的出产线上大规模投入量产。

中微公司也在互动渠道上证明了这一说法，称公司刻蚀设备的确进入了5纳米出产线。

中微公司瞄准国际科技前沿，首要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研制、出产和出售。

公司的刻蚀设备已应用于全球先进的7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制作出产线及先进封装出产线。

中微公司作为设备公司，向客户供给可加工先进器材的设备，帮忙、合作客户完成先进器材的开发和出产。

据介绍，等离子体刻蚀机是芯片制作中的一种关键设备，用来在芯片上进行微观雕琢，每个线条和深孔的加工精度都是头发丝直径的几千分之一到上万分之一，精度操控要求十分高。