上海科研人员“定制”微器材为新资料使用探路
微电子器材(简称:微器材)“埋伏”在人们日常日子中,比方一部一般手机的P(中央处理器)里有多达百亿个晶体管(微器材的一种)。据来自中国科学院上海技能物理研讨所的音讯,该所的王建禄研讨员等人,经过新式制备办法,能按需定制微器材,有望加快未来的新式半导体资料的使用。相关成果于北京时间25日在线发表于世界期刊rr(《天然·电子学》)。
王建禄研讨员在上海承受媒体采访时介绍,传统的半导体微器材工艺进程非常繁琐杂乱,例如,要经过几百道乃至上千道的工艺,才干取得常用的计算机芯片,研讨团队探究的是:如何故简略的工艺,按需定制微器材。
能够这么描绘他们的制备办法:用“纳米画笔”在“画布”上画出微器材。这儿的“纳米画笔”指的是纳米标准的针尖。“画布”则是一种特别的纳米薄膜——铁电薄膜。
“这层具有极性的铁电薄膜就像一张纳米厚度的奇特画布,运用纳米画笔能够在画布上恣意作画,画作便是各类微器材,还能够重复擦写画布,这种办法给制备微器材供给了丰厚的想象力。”王建禄如是说。
王建禄一起也指出,这种制备办法适用于简直一切的半导体薄膜资料,但由于传统资料的制备工艺已相对老练,新办法更适合用于未来新式低维半导体资料的使用上。
据悉,这项研讨由中国科学院上海技能物理研讨所与复旦大学、华东师范大学、南京大学、中国科学院微电子所等多个课题组协作完结。(完)